Szintézismódszere elsősorban elemi szilíciumot és nitrogént használ fel 1300 Celsius-fok és 1400 Celsius-fok közötti kémiai reakcióhoz, majd szilícium-nitridet nyer. Diimin segítségével is szintetizálható, vagy szén is használható. A termikus redukciós reakciót nitrogén alatt, 1400 Celsius-fok és 1450 Celsius-fok között szintetizálják. A karbotermikus redukciós reakció a szilícium-nitrid por ipari gyártásának egyszerű módja és költséghatékony módja.
Ha félvezetőre szeretne szilícium-nitridet leválasztani, akkor alacsony nyomású kémiai gőzleválasztási technológiát alkalmazhat viszonylag magas hőmérsékleten függőleges vagy vízszintes csőkemencével, vagy használhat plazmával javított kémiai gőzleválasztási technológiát viszonylag magas hőmérsékleten. . Alacsony vákuum alatt végezze. Mivel a szilícium-nitrid egységcella-paraméterei eltérnek az elemi szilíciumétól, az előállított szilícium-nitrid film a leválasztási módszertől függően feszültséget vagy feszültséget generál. Különösen akkor, ha plazmával javított kémiai gőzleválasztási technológiát alkalmaznak, a leválasztási paraméterek így csökkentik a feszültséget.
A szemcsés szilícium-nitrid nehezen feldolgozható és nem melegíthető az olvadáspont fölé, mert az olvadáspont túllépése esetén a szilícium-nitrid szilíciumra és nitrogénre bomlik, ezért a feldolgozás során erre kell figyelni.
